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SuperViewW3大尺寸微觀形貌儀白光干涉測量各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。

中圖儀器SuperViewW1白光表面干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

SuperView W1白光干涉儀檢測設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過程，通過系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實(shí)現(xiàn)了器件表面形貌3D測量的效率高與簡化性。

?現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。SuperView W1白光干涉儀檢測儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。