白光干涉儀可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、面形輪廓、腐蝕情況、波紋度、平面度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉測(cè)量?jī)x在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。

大多數(shù)的場(chǎng)景中，只需檢測(cè)一個(gè)數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測(cè)超精密器件表面全貌的場(chǎng)景中，SuperViewW1白光干涉測(cè)量?jī)x的自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量，還支持自動(dòng)聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動(dòng)聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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特點(diǎn)

一是非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；

二是測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置；

四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。