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W系列白光干涉儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測(cè)量?jī)x器可以提供更高精度的檢測(cè)需求。

白光干涉顯微測(cè)量?jī)x，非接觸、三維白光掃描干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。

一鍵批量分析白光干涉測(cè)頭,是一款非接觸式精密光學(xué)測(cè)頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)

白光干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

白光干涉測(cè)頭 主要特點(diǎn)：便攜可搭載 一鍵批量分析 生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級(jí)高度測(cè)量，0.4μm級(jí)別的線寬測(cè)量，最大支持80倍的槽深寬比測(cè)量，具備點(diǎn)、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類(lèi)輪廓尺寸測(cè)量功能。