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精密測量SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000工業(yè)激光干涉測量儀機(jī)床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠?？蓹z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，也具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000機(jī)床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，是一款高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000高精度測量激光干涉儀為機(jī)床機(jī)定位誤差（螺距補(bǔ)償）、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過每個機(jī)床軸的補(bǔ)償值來消除機(jī)床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對機(jī)床軸的補(bǔ)償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機(jī)床作業(yè)精度。