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      Products產(chǎn)品中心
      首頁 > 產(chǎn)品中心 > 輪廓測量儀 > 光學3D輪廓儀 > SuperViewW1chotest光學輪廓儀

      chotest光學輪廓儀

      簡要描述:chotest光學輪廓儀以白光干涉技術為原理,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。

      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2024-08-11
      • 訪  問  量:756

      詳細介紹

      品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
      加工定制

      chotest光學輪廓儀以白光干涉技術為原理,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

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      應用領域

      chotest光學輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

      結(jié)果組成:

      1、三維表面結(jié)構:粗糙度,波紋度,表面結(jié)構,缺陷分析,晶粒分析等;

      2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

      3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

      4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

      5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

      6、微電子表面分析和MEMS表征。

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      產(chǎn)品功能

      (1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

      (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

      (3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

      (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

      (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

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      性能特色

      1、高精度、高重復性

      1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

      2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;

      2、環(huán)境噪聲檢測功能

      具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

      3、精密操縱手柄

      集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

      4、雙重防撞保護措施

      在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

      5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

      既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。


      部分技術指標


      型號

      W1

      光源白光LED
      影像系統(tǒng)1024×1024
      干涉物鏡

      標配:10×

      選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

      光學ZOOM

      標配:0.5×

      選配:0.375×、0.75×、1×

      標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


      XY位移平臺

      尺寸
      320×200㎜
      移動范圍140×100㎜
      負載10kg
      控制方式電動
      Z軸聚焦行程100㎜
      控制方式電動
      臺階測量
      可測樣品反射率0.05%~100%
      主機尺寸700×606×920㎜


      如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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      • 聯(lián)系人:羅健
      • 地址:深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號南山智園
      • 郵箱:sales@chotest.com
      • 傳真:86-755-83312849
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