激光干涉儀測量前的調(diào)整方法

更新時(shí)間：2021-12-13 點(diǎn)擊次數(shù)：786

　　激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長儀，由于其優(yōu)良的性能，被廣泛地應(yīng)用于多種場合，特別是對長、大位移的測量。對于長度的測量，一般200米以上的測量都是一般的長度測量，3m以下的長度測量是3m,3~200m的測量稱為大尺寸測量。在一般長度測量中，被廣泛使用?？稍谑覂?nèi)進(jìn)行恒溫、恒濕、防震的量塊、標(biāo)尺、標(biāo)尺、坐標(biāo)測量儀等。還可在普通車間對大型機(jī)床進(jìn)行標(biāo)定，既能測量幾十米長，又能測量手表零件等微小運(yùn)動(dòng)，不僅能測量長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何尺寸。是科學(xué)研究、光刻機(jī)、數(shù)控機(jī)床、艦船等行業(yè)都離不開的光學(xué)尺子，用于測量零部件的尺寸，角度，位置，直線性，也是檢定各類數(shù)控機(jī)床、激光加工機(jī)床以及光刻機(jī)臺(tái)的精度，進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)幕緝x器。

　　隨著智能制造技術(shù)的發(fā)展，檢測已經(jīng)成為生產(chǎn)過程中越來越重要的一部分，位移檢測是檢測手段之一。一般來說，設(shè)備的檢測精度應(yīng)達(dá)到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工，其檢測精度至少應(yīng)小于1微米，因此激光干涉儀已經(jīng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。

　　但是，由于激光測量系統(tǒng)測量時(shí)與一般的自準(zhǔn)直儀不同，下面就來具體介紹下調(diào)整方法：

　　1.調(diào)光束平行于被測軌道。

　　(1)將反射鏡座和分光鏡座放置在被測軌道上，分光鏡的高度放置在可調(diào)節(jié)范圍的中間，調(diào)整高度，雷射頭與反射鏡、分光鏡大致保持在同一高度。

　　(2)激光頭的左右擺動(dòng)是根據(jù)反射鏡上光點(diǎn)在Y方向的偏移來調(diào)節(jié)的。在Y方向的鏡面上，光點(diǎn)不會(huì)偏移。

　　2.調(diào)節(jié)鏡子和反射鏡的鏡面垂直于激光束。

　　(1)調(diào)整反射鏡的高度，使激光頭上孔發(fā)出的光束反射后全部返回雷射頭(孔內(nèi)指示燈亮)；

　　(2)放置分光鏡，覆蓋反射鏡，調(diào)整分光鏡的高度，使激光頭上孔發(fā)出的光束通過分光鏡后全部返回(指示燈亮)；

　　以上就是小編為大家介紹的激光干涉儀的相關(guān)內(nèi)容，希望對大家能有所幫助。